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簡(jiǎn)要描述：瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥（三/雙向型）25.2 高真空鋼瓶閥系列旨在用于包含攜帶腐蝕性物質(zhì)和粒子的氣體的惡劣工藝環(huán)境中，例如次晶圓廠(chǎng)工藝。該系列有角度 (25.0)、串聯(lián) (25.1) 和 3向2通路設(shè)計(jì) (25.2) 可供選擇，每個(gè)版本均采用最大電導(dǎo)率。
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瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥（三/雙向型）
任何條件下都能提供可靠的隔離25.2 高真空鋼瓶閥系列旨在用于包含攜帶腐蝕性物質(zhì)和粒子的氣體的惡劣工藝環(huán)境中，例如次晶圓廠(chǎng)工藝。該系列有角度 (25.0)、串聯(lián) (25.1) 和 3向2通路設(shè)計(jì) (25.2) 可供選擇，每個(gè)版本均采用最大電導(dǎo)率。
為提供耐用性和較長(zhǎng)的正常運(yùn)行時(shí)間，25.2 高真空鋼瓶閥系列具有密封保護(hù)系統(tǒng)，兼具鋼瓶設(shè)計(jì)的高流導(dǎo)和更長(zhǎng)的密封壽命等優(yōu)勢(shì)。該密封保護(hù)系統(tǒng)通過(guò)鋼瓶?jī)A斜-轉(zhuǎn)動(dòng)-傾斜的動(dòng)作工作，在該動(dòng)作中，鋼瓶會(huì)通過(guò)提起動(dòng)作移除閥座上的閘封，以避免任何摩擦、密封磨損以及粒子的生成。在全開(kāi)啟（90° 旋轉(zhuǎn)后）的情況下，傾斜-轉(zhuǎn)動(dòng)-傾斜的動(dòng)作還會(huì)將密封件輕柔地壓向閥體，防止密封件接觸氣流中可能存在的磨蝕粒子。斷電時(shí)，閥體機(jī)構(gòu)將被鎖定在打開(kāi)或關(guān)閉位置，維持閥體最后的位置。
25.2 高真空鋼瓶閥系列已經(jīng)安裝在數(shù)千個(gè)各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其可靠性。
25.2 高真空鋼瓶閥為氣動(dòng)型，帶有作為外部安裝配件的電磁閥。閥門(mén)位置通過(guò) LED 燈（10-30?VDC，5-100?mA）指示。
法蘭連接器的標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng)為 ISO-KF 和 ISO-KF“羊角型"。標(biāo)準(zhǔn)閥板密封采用氟橡膠?？杉煽蛻?hù)法蘭以及特殊功能，例如加熱筒、其他密封材料或不銹鋼類(lèi)型。
適用于惡劣環(huán)境，設(shè)計(jì)可靠、成熟
傾斜-旋轉(zhuǎn)-傾斜機(jī)制，保護(hù)密封
最大流導(dǎo)
優(yōu)勢(shì)：
性能可靠
維護(hù)量少，可輕松維護(hù)
擁有成本較低
瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥（三/雙向型）
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